W dzisiejszych czasach czystość komponentów jest takim samym kryterium jakościowym, jak dokładność wymiarowa. Jest ona definiowana przez określone specyfikacje czystości cząstek, a coraz częściej także cienkich warstw. Niezawodne spełnienie tych wymagań może być nie lada wyzwaniem. Aby działania były opłacalne, coraz ważniejsze staje się zaprojektowanie procesów mycia zgodnie z wymaganiami użytkownika i uzyskanie powtarzalnych wyników czystości.